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海南农村地方专项计划:薄膜压力变送器

       启泰研发的压力传感器称为“压力传感器中的明珠”,是MEMS传感器里技术含量最高者,是高端产业的首选。
 
     启泰攻克了金属溅射膜传感器中的五大技术难题:
(1)结构
(2)蠕变漂移
(3)温度漂移
(4)微小部件精细加工
(5)微电子工艺                                                                             

 
       每一种不同的型号下分别对应着23种不同的压力量程,它们是:0.1MPa、0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa、0.5MPa、1MPa、2MPa、4MPa、6MPa、8MPa、10MPa、15MPa、20MPa、25MPa、30MPa、40MPa、50MPa、60MPa、70MPa、80MPa、90MPa、100MPa、120MPa。产品涵盖的范围广,应用领域广。




(pdf产品手册下载)
薄膜压力变送器产品手册